ISO 11670:2003標準全稱為《激光和激光相關設備 - 激光束參數測試方法 - 光束位置穩定性》(Lasers and laser-related equipment — Test methods for laser beam parameters — Beam positional stability)。該標準規定了確定激光束位置和角度穩定性的方法,旨在用于激光器的測試和表征。
主要測試項目
1、光束位置穩定性(Beam positional stability):
測試激光束在空間中的位置是否穩定不變,這對于激光加工、激光切割、激光打標等應用非常重要。
通過位置敏感探測器測量激光束質心的位置變化,并計算其標準偏差。
2、光束指向穩定性(Beam pointing stability):
評估激光束的方向是否保持穩定,這對于確保加工效果和質量至關重要。
在聚焦元件的焦平面上測量激光束質心的位置變化,并計算其標準偏差。
3、測試方法:
測量布置:確保激光束和測量系統的光軸同軸,光學系統的孔徑應能夠容納整個激光束截面。
環境控制:測試平臺或支撐系統應具有比被測激光更高的光機械穩定性,避免外部或系統誤差。
探測系統:使用位置敏感探測器來確定激光束質心的位置。
4、數據處理與評估:
從測量數據中計算光束位置穩定性和光束指向穩定性,通常使用均方根誤差(RMS)來表示。
適用范圍
該標準適用于需要評估激光束位置和角度穩定性的各種激光器。
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